不断超越，追求完美

效率成就品牌，诚信铸就未来

只有更好的服务，才有更多的用户

  • TRYMAX 等离子除胶机

  • 特点和优势： 结构简明，使用便捷，造就成功 集成*先进的技术于一体 坚固而可靠的设计 好的性能价格比 驻地的配件供应与服务 *范围的杰出的产品支持团队 产品命名规则： 类型一：NEO ABC AB——可加工晶圆尺寸：20：6吋与8吋；30：8吋与12吋 C——等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP 类型二：NEO ABCD A——可加工晶圆尺寸：2：6吋与8吋；3：8吋与12吋 B——腔体数量 C——左侧腔体等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP D——右侧腔体等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP 与普通等离子清洗机的区别： 1.TRYMAX设备具有更高的精度控制和均匀性控制 2.TRYMAX设备的等离子体属于各向同性等离子体，执行的轻度灰化 主要使用场景： 1. 实际上可以应用到半导体加工的前、后道工序。

    但是，由于传统思想约束，亚洲地区只用于后道工序。

    在欧美，前道工序的应用案例还是很多。

    2. 目前在后道工序中必须使用的场景是光刻（黄光工艺）之后和金属镀层之前。

    其它更多的应用需要根据用户和使用体验。

    3. 更多客户需要改善表面质量，提高后续工艺可靠性的环节。

    标签： NEO系... Trym... 等离子 等离子去... 清洗机   NEO系列 Trymax 等离子 等离子去胶 清洗机 干法 等离子刻蚀   北京市等离子胶机   北京市等离子胶机厂家
    北京市 北京市[NEO系列 Trymax 等离子 等离子去胶 清洗机 扰器法 等离子刻蚀] 北京市等离子胶机厂家
    TRYMAX 等离子除胶机
  • 企业信息
  • 状态：匆匆过客
  • 核实：        
  • IP属地：北京市
  • 联系方式
  • 联系人：---
  • 座机：---
  • 手机：---
  • 地址：---