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  • Activator150 SiC Centrotherm 快速退火 快速退火炉-RAPID 150

  • Ce*otherm 快速退火炉-c.RAPID 150 一、产品简介 德国CENtrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。

     c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

    测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。

    优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯，提供了出色的控温精度和控温重复性。

    此款设备配置手动装载系统，适用于研发以及小型的量产。

    成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。

    出色的性能和高度的灵活性，结合小的占地面积，低的客户拥有成本，使c.RAPID 150成为一款佳的手动RTP设备。

    二、典型应用 l 退火：一般退火、接触层退火、源/漏退火、势垒金属退火 l 硅化 l 氧化 l 掺杂活化 三、产品特性 l 可在常压或者真空（控压）下工作 l 高度灵活性：适用于*6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘 l 升温速率约150 K/s l 出色的温度均匀性 l 确的环境控制 l 高的设备可靠性 l 可以并排安装 四、设备参数         详情电议 标签： 快速退火... 氧化 c.RA... 德国Ce... 多用途的...   快速退火炉 氧化 c.RAPID 150 德国Centrother 多用途的快速退火 硅化 RTP设备 性能和高度的灵活性 适用于研发以及小型的量产 成熟的真空操作和气体管理 掺杂活化 退火   北京市快速退火炉   北京市快速退火炉厂家
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  • 企业信息
  • 状态：匆匆过客
  • 核实：        
  • IP属地：北京市
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